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応用
高純度酸素を使用
◇二酸化ケイ素と金属酸化物の形成用、フォトレジストのエッチャントとして、およびハロカーボンと混合してシリコンをエッチングするため
◇核融合炉内の（CO2）ガス冷却材の適切な炭素バランスを維持するための、先進ガス冷却（AGR）原子炉内の高純度メタンとの組み合わせ
◇光ファイバー製造工程
◇生きた魚介類の輸送に使用
◇発酵中の空気濃縮に
……
処理する
酸素は、液化とそれに続く空気の蒸留により、商業規模で得られます。 非常に高純度の酸素の場合、通常、空気分離プラントから二次精製および蒸留段階を経て製品を取り出す必要があります。 あるいは、水の電気分解によって高純度酸素を生成することができる。 酸素の純度を下げることも膜技術で生産されます。
緊急対策
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